[发明专利]一种非接触式非连续平面平面度测量系统有效
| 申请号： | 201510855857.6 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106813600B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 赵慧洁;李旭东;范博 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种非接触式非连续平面平面度测量系统。测量系统包括激光发射装置、激光位移传感器、位置敏感器和计算机组成。该测量装置可在加工现场，与加工设备结合，对各种大尺寸、非连续平面的平面度进行高精度非接触式在线测量。一种非接触式非连续平面平面度测量系统。使用激光位移传感器和位置敏感器组合测量待测点高度(z)，结合加工设备测量待测点平面坐标(x，y)，然后进行数据处理得到平面度值。本发明具有非接触、测量范围大、能适应各种材质的表面等特点，可用于各种不同大小、不同材质的非连续表面的平面度测量；测量过程由计算机控制自动完成，可实现自动测量，提高了测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 连续 平面 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式非连续平面平面度测量系统，其特征在于：/n（1）系统结构为：激光位移传感器（2）和位置敏感器（3）固连，可安装在机床（1）上；激光发射装置（4）与待测平面（6）安装固定在同一地基上；计算机（5）分别与机床（1）、激光位移传感器（2）和位置敏感器（3）的对应接口连接，进行数据交换；/n（2）测量原理为：激光发射装置（4）对激光旋转，形成测量的参考基准光平面；激光位移传感器（2）和位置敏感器（3）组合，可以测量待测平面（6）上某个待测点到基准光平面间的高度距离，利用激光位移传感器测量待测表面与激光位移传感器之间的距离
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- 2016-10-03 - 2020-01-14 - G01B11/30
- 本发明涉及测量多层半导体结构体的第一层的厚度变化的方法，其包括：‑用图像采集系统采集所述结构体的表面的至少一个区域的图像，所述图像通过在所述结构体的表面的所述区域上反射准单色光通量而获得；‑处理所述采集的图像以便由表面的所述区域反射的光的强度变化来确定所述第一层的厚度变化的映射图，所述处理包括将该图像的每个像素的强度与预先确定的标定曲线相比较，所述标定曲线界定采集的图像的像素强度与所述第一层的局部厚度之间的关系，所述标定曲线针对结构体与第一层不同的给定厚度的第二层确定；其中，所述准单色光通量的波长被选择为与相对于所述第二层的反射率的灵敏度的最小值相对应；所述方法的特征在于，其还包括：‑测量所述结构体的表面的所述至少一个区域中的第二层的厚度；‑如果测量厚度不同于标定曲线中所考虑的第二层的厚度，对厚度变化的映射图应用校正曲线，其中，所述校正曲线针对第二层的所述测量厚度界定第一层的厚度与校正因子之间的关系，以应用于第一层的厚度变化的映射图，从而确定第一层的厚度变化的校正映射图。
- 一种翘曲度测试仪-201910914174.1
- 吴涛 - 深圳市铭辉源科技有限公司
- 2019-09-25 - 2020-01-10 - G01B11/30
- 本发明涉及一种翘曲度测试仪，包括支撑腿、导轨、第二滑杆、吸取机构、大理石平台、机壳和第一固定栓，所述支撑腿的顶部设置有支撑板，所述支撑板的一侧中间设置有传动电机，远离支撑腿所述支撑板的一侧设置有导轨，所述导轨上镶嵌有滑座，所述大理石平台镶嵌于支撑板的内部，所述机壳设置于第二滑杆的下方，所述第二滑杆的两侧分别安装有第一滑套和第二滑套，所述第一滑套和第二滑套的一侧均设置有第一伺服电机和第二伺服电机，所述第一固定栓设置于滑座的顶部，所述滑座与固定板之间通过第二固定栓相互固定。该路翘曲度测试仪通过一种全新的算法得到被测物体的翘曲度，能极大提高测试精度和效率，不会划伤被测物体的表面，也不会带来脏物。
- 农田地表平整度测量系统及测量方法-201810886157.7
- 廖庆喜;刘立超;舒彩霞;廖宜涛;张青松;魏国粱 - 华中农业大学
- 2018-08-06 - 2020-01-10 - G01B11/30
- 本发明公开了一种农田地表平整度测量系统及测量方法，包括第一支撑装置、第二支撑装置、激光扫描装置、电动丝杆装置、直线导轨及控制器；支撑装置可滑动地安装在直线导轨一端，第二支撑装置可滑动地安装在直线导轨另一端，激光扫描装置可滑动地安装在直线导轨上且位于第一支撑装置和第二支撑装置之间，电动丝杆装置的一端与第一支撑装置相连、电动丝杆装置的另一端与第二支撑装置相连，电动丝杆装置、第一支撑装置及激光扫描装置均与控制器电连。通过电动丝杆装置带动激光扫描仪沿直线导轨移动，通过一次架设测量系统，可获得多个测量区域内地表剖面线上的高度分布数据，从而提高了测量精度和测量效率。
- 一种铸铁锅坯底部平整度检测装置-201921196629.2
- 李俊召;吴占青;何现政;吴得青;王为菊;雷全欣;范全得;吴扬涛 - 郏县煜康炊具有限公司
- 2019-07-29 - 2020-01-10 - G01B11/30
- 本实用新型公开了涉及锅坯底部平整度检测装置技术领域，具体为一种铸铁锅坯底部平整度检测装置，包括基板，基板的上表面倒置放置有锅坯，锅坯的后端设置有检测板，检测板的表面呈竖向设置有多组等距离排列的检测刻度线组，锅坯的上方内壁中间位置活动贴合有底端橡胶垫。本实用新型通过检测板上多组检测刻度线组观察记录锅坯底面刻度的变化，从而判断锅坯底面平整度，代替了画线后进行观察，提高了检测精度，且可使用红外线辅助进行观察，实用性强；本实用新型中可用于检测高度和宽度大小不一的锅坯，实现了适用范围广的目的，且锅坯固定简单，使用方便。
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