[发明专利]一种薄膜开关的制备方法有效
| 申请号： | 201510851983.4 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105513861B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 张晓青;马星晨;薛远;武丽明 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01H11/00 | 分类号： | H01H11/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 王小荣 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜开关的制备方法，该方法是在聚合物薄膜的一个表面上覆盖一层下电极，再通过未覆盖下电极的自由面向聚合物薄膜注入真实电荷，随后，在所述的自由面上设置受力产生形变的可活动结构，并在所述的可活动结构上粘结一层上电极，再从所述的下电极、上电极分别引出下电极引线及上电极引线，最后，采用保护膜封装即可制得所述的薄膜开关。与现有技术相比，本发明制备方法简单易行，制备的成品薄膜开关具有柔韧性高、厚度小、灵敏度高、成本低等特点，能够将机械信号转变为电学信号，实现电学开关功能。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 薄膜开关 下电极 聚合物薄膜 可活动结构 电极 下电极引线 柔韧性 成品薄膜 电极引线 电学开关 电学信号 机械信号 电荷 保护膜 灵敏度 形变 受力 粘结 覆盖 封装 自由 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜开关的制备方法，其特征在于，该方法是在聚合物薄膜的一个表面上覆盖一层下电极，再通过未覆盖下电极的自由面向聚合物薄膜注入真实电荷，随后，在所述的自由面上设置受力产生形变的可活动结构，并在所述的可活动结构上粘结一层上电极，再从所述的下电极、上电极分别引出下电极引线及上电极引线，最后，采用保护膜封装即可制得所述的薄膜开关；所述的可活动结构为可压缩变形绝缘支撑结构或可压缩变形凸起结构；所述的可压缩变形绝缘支撑结构为采用纸张折叠后制成的绝缘支撑结构；所述的可压缩变形凸起结构为上电极向上拱起后形成的可压缩变形凸起结构。
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