[发明专利]极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201510844166.6 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN106800270B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 熊斌;刘松;徐德辉;马颖蕾 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔的上开口面积或下开口面积大于侧开口的面积。本发明的阻尼孔可运用现有技术水平轻易制备，同时，采用这种阻尼孔的极板结构在用作面内的可动部件时，当可动部件发生相对运动时，位于两个可动部件之间的空气不再因受到束缚发生挤压，而是通过面积较小的进气口进入阻尼孔并通过面积较大的上开口或下开口迅速得到释放，从而减小了阻尼力。同时，由于阻尼孔的侧开口面积较小，使极板面积损失不致过大，不会明显降低静电力，使得采用所述极板结构的静电驱动结构能够获得较大的静电力/阻尼力比值。 | ||
| 搜索关键词： | 极板结构 阻尼孔 静电驱动结构 可动部件 侧开口 静电力 上开口 下开口 阻尼力 进气口 面积损失 上下贯穿 极板 减小 制备 制作 挤压 技术水平 侧面 释放 束缚 | ||
【主权项】：
1.一种极板结构，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔在所述极板结构的所述侧面、上表面及下表面的开口分别为侧开口、上开口及下开口，其特征在于：所述上开口的面积或下开口的面积大于所述侧开口的面积，所述侧开口作为进气口，面积大于所述侧开口面积的所述上开口或下开口作为排气口，以降低所述侧面的面积损失，从而降低静电力的损失。
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