[发明专利]极板结构、采用该极板结构的静电驱动结构及其制作方法

权利要求书

1.一种极板结构，所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔在所述极板结构的所述侧面、上表面及下表面的开口分别为侧开口、上开口及下开口，其特征在于：所述上开口的面积或下开口的面积大于所述侧开口的面积，所述侧开口作为进气口，面积大于所述侧开口面积的所述上开口或下开口作为排气口，以降低所述侧面的面积损失，从而降低静电力的损失。

2.根据权利要求1所述的极板结构，其特征在于：所述上开口或下开口的轮廓由至少三段直线围成。

3.根据权利要求2所述的极板结构，其特征在于：所述上开口或下开口的形状包括T型或梯形。

4.根据权利要求1所述的极板结构，其特征在于：所述上开口或下开口的轮廓由至少一段直线及至少一段弧线围成。

5.根据权利要求1所述的极板结构，其特征在于：所述极板结构与所述侧面相对的另一侧面也设有所述阻尼孔。

6.一种极板结构的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：提供一衬底，在所述衬底中刻蚀出凹腔结构，并在所述凹腔结构表面形成一绝缘层；

S2：提供一结构片，将所述结构片与所述衬底键合，封闭所述凹腔结构；

S3：将所述结构片减薄至制作极板结构所需的厚度；

S4：刻蚀所述结构片，在所述凹腔结构上方得到极板结构；所述极板结构的一侧面设有至少一个上下贯穿所述极板结构的阻尼孔，其中，所述阻尼孔在所述极板结构的所述侧面、上表面及下表面的开口分别为侧开口、上开口及下开口，且所述上开口的面积或下开口的面积大于所述侧开口的面积，所述侧开口作为进气口，面积大于所述侧开口面积的所述上开口或下开口作为排气口，以降低所述侧面的面积损失，从而降低静电力的损失。

7.根据权利要求6所述的极板结构的制作方法，其特征在于：于所述步骤S4中，采用干法刻蚀得到所述阻尼孔。

8.根据权利要求6所述的极板结构的制作方法，其特征在于：所述极板结构与所述侧面相对的另一侧面也设有所述阻尼孔。

9.一种采用如权利要求1至权利要求5任意一项所述极板结构的静电驱动结构。

10.根据权利要求9所述的静电驱动结构，其特征在于：所述静电驱动结构包括可动电极及固定电极；所述可动电极与所述固定电极在同一平面内作相对运动。

11.根据权利要求10所述的静电驱动结构，其特征在于：所述可动电极及所述固定电极中至少有一个采用所述极板结构。

12.根据权利要求10所述的静电驱动结构，其特征在于：所述可动电极及固定电极均为叉指电极，且所述叉指电极的叉指采用所述极板结构。