[发明专利]高精度平面度在线测量装置及测量方法

摘要

高精度平面度在线测量装置及测量方法，属于高精度在线测量技术领域。解决了现有技术中平面度测量方法检测精度低、效率低、操作繁琐等问题。该装置包括数控立式车床、刀杆接柄、适配器、长度计、数显装置和PC机；其中，刀杆接柄夹持固定在数控立式车床的刀具夹持系统上；适配器固定在刀杆接柄上，长度计固定在适配器上且沿Z向设置，适配器能够相对于刀杆接柄运动，调节长度计的位置，使长度计的探针在工件的被测面上的Z向投影恰好落在数控立式车床的X轴上；数显装置显示长度计的测量值；PC机与数显装置、控制系统分别连接。该装置能够达到亚微米级检测精度，提高了检测效率。尤其适用于光刻投影物镜镜框平面度的在线测量。

主权项

高精度平面度在线测量装置，包括主要由导磁块(2)、C向旋转工作台(3)、Z向运动轴(7)、X向运动轴(8)、床身(9)、床座(10)、刀具夹持系统和控制系统组成的数控立式车床；其特征在于，还包括，刀杆接柄(6)、适配器(5)、长度计(4)、数显装置和PC机；所述刀杆接柄(6)夹持固定在刀具夹持系统上；所述适配器(5)固定在刀杆接柄(6)上，长度计(4)固定在适配器(5)上且沿Z向设置，适配器(5)能够相对于刀杆接柄(6)运动，调节长度计(4)的位置，使长度计(4)的探针在工件(1)的被测面上的Z向投影恰好落在数控立式车床的X轴上；所述数显装置与长度计(4)连接，显示长度计(4)的测量值；所述PC机与数显装置、控制系统分别连接，PC机采集并存储数显装置的数据，且通过控制系统实时控制数控立式车床。