[发明专利]间接水冷行星传动工作台在审
| 申请号： | 201510763932.6 | 申请日： | 2015-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN105428276A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈庆广;陈特超;佘鹏程;王志伟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01J37/20 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;厉田 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种间接水冷行星传动工作台，包括驱动组件、传动组件和行星转动座，行星转动座上周向装设有多根行星轴，各行星轴上均装设有基片台，行星转动座上装设有通水轴，通水轴开设有通水腔，通水腔内插设有延伸至真空腔外部的进水管，通水轴连接有与通水腔相通并延伸至真空腔外部的出水管，行星转动座于各基片台位置开设与进水管和出水管相通的水道。该行星传动工作台具有结构简单紧凑、成本低廉、稳定性和可靠性高、可改善刻蚀均匀性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 间接 水冷 行星 传动 工作台 | ||
【主权项】：
一种间接水冷行星传动工作台，包括驱动组件（1）、传动组件（2）和行星转动座（3），所述行星转动座（3）上周向装设有多根行星轴（4），各行星轴（4）上均装设有基片台（5），其特征在于：所述行星转动座（3）上装设有通水轴（6），所述通水轴（6）开设有通水腔（61），所述通水腔（61）内插设有延伸至真空腔外部的进水管（7），所述通水轴（6）连接有与通水腔（61）相通并延伸至真空腔外部的出水管（8），所述行星转动座（3）于各基片台（5）位置开设与进水管（7）和出水管（8）相通的水道（31）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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