[发明专利]片材检查装置

摘要

本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

主权项

1.一种片材检查装置，用于检查片状的被检查物，其特征在于，具有：第一拍摄传感器，对从第一光源照射并在被检查物的第一表面反射的光进行拍摄，第二拍摄传感器，对从第二光源照射并透过所述被检查物的光进行拍摄，处理部，使用由所述第一拍摄传感器所得的所述被检查物的第一图像与由所述第二拍摄传感器所得的所述被检查物的第二图像，检测所述被检查物上的异常部位，并且判别在检测出的所述异常部位产生的异常的种类，以及输出部，输出至少包括示出由所述处理部判别出的异常的种类的信息在内的与异常部位相关的信息；在所述异常部位中，在所述第一图像的像素值以及所述第二图像的像素值与在所述被检查物上无异常时的通常值相比而降低的情况下，所述处理部基于所述第一图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度、所述第二图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度、用于判别异物的浓淡的阈值以及用于判别第一表面和第二表面的判断阈值，来判别在所述异常部位产生的异常是异物附着或混入所述被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与所述第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。