[发明专利]无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪及测试精度调节方法

摘要

本发明公开一种无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，包括：提供照明均匀光的光源；成像装置包括用于成像的无限远共轭距显微物镜和管透镜、位于无限远共轭距显微物镜前焦面上用于为无限远共轭距显微物镜提供黑斑的黑体目标板；三目观察装置，包括可上下移动的半五角棱镜，用于观察保证测量时黑斑位置放置正确；滤光装置，成像装置出射的光通过滤光装置过滤后输出可见光波段；第一光阑，其接收可见光波段并选择可见光波段中黑斑的特定黑斑像区域的光用于测量；测试积分球，其对接收的第一光阑选择的测量光进行均光和衰减；光电倍增管，其用于测量经测试积分球均光和衰减的光的能量；本发明具有杂散光源减少、测量精度高的优点。

主权项

一种无限远共轭距显微物镜杂散光测试仪，其特征在于，依次包括：光源，用于提供照明均匀的光；成像装置，用于接收所述光源发射的光并成像；所述成像装置包括组合用于成像的无限远共轭距显微物镜和管透镜、位于所述无限远共轭距显微物镜前焦面上并用于为所述无限远共轭距显微物镜提供黑斑的黑体目标板；三目观察装置，用于观察保证测量时黑斑的位置放置正确；滤光装置，所述成像装置出射的光通过所述滤光装置过滤后输出可见光波段；第一光阑，其接收所述可见光波段并选择所述可见光波段中所述黑斑的特定黑斑像区域的光用于测量；测试积分球，其对接收的所述第一光阑选择的测量光进行均光和衰减；以及，光电倍增管，其用于测量经所述测试积分球均光和衰减的光的能量；其中，所述三目观察装置依次包括：可上下移动的半五角棱镜、分光棱镜、空间棱镜、直角棱镜、第一目镜以及第二目镜；所述成像装置成像后发射的光依次经过所述半五角棱镜后方向转变45度后经过所述分光棱镜分成两束反向平行光，所述两束反向平行光中的一束通过所述空间棱镜到达所述第一目镜、另一束通过所述直角棱镜到达所述第二目镜。