[发明专利]烘烤炉在审
申请号: | 201510687573.0 | 申请日: | 2015-10-21 |
公开(公告)号: | CN105206720A | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 刘开欣;谢楚盛;叶国梁 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 朱绘;徐彦圣 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种烘烤炉,属于显示技术领域,解决了对烘烤炉内是否存在玻璃基板的判定不准确的技术问题。该烘烤炉用于对玻璃基板进行烘烤,包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。本发明可用于液晶显示器的制造过程。 | ||
搜索关键词: | 烤炉 | ||
【主权项】:
一种烘烤炉,用于对玻璃基板进行烘烤,其特征在于,所述烘烤炉包括炉体以及位于所述炉体内部的膛室;所述膛室外设置有传感器,用于感应所述膛室的入口处和出口处基板的出入。
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