[发明专利]固化装置及固化方法有效
| 申请号： | 201510617156.9 | 申请日： | 2015-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN105271792B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 熊黎;陆忠;张文轩;范真瑞;张宇;张宇;杨远江;蒋冬华;李炳天;高胜洲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C17/28 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 林桐苒,李丹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种固化装置及固化方法，该固化装置包括腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板；抽气装置，用于对所述腔室抽真空；加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。本发明提供的固化装置，通过将去除PI胶中有机气体的工序在真空抽气的条件下进行，相比现有技术，能够大大提高有机气体的排出效果，不但能够有效降低有机气体凝结为颗粒的概率，还能减少所需的工艺时间，并且，由于不要持续通入氮气，还能大大降低产品制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种固化装置，其特征在于，包括：腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板，所述腔室顶部设置有排气装置，所述排气装置包括多条平行的排气管以及将多条所述排气管相连的连通部，所述连通部与抽气装置相连；所述抽气装置，用于对所述腔室抽真空；加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
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