[发明专利]一种机械手臂及基板的转运方法有效
| 申请号： | 201510574226.7 | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN105110006B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张雨;赵承潭;黄华;贾倩 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 汪源,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机械手臂及基板的转运方法，属于机械技术领域，其可解决现有的在基板转运过程中，由于机械手臂支撑基板导致的基板变形，发生下垂或翘曲的问题。本发明的机械手臂，包括主支撑臂和至少一个辅助支撑臂，所述主支撑臂用于支撑基板，所述辅助支撑臂与所述主支撑臂连接，且所述辅助支撑臂设置在所述主支撑臂的两侧，所述辅助支撑臂上设置有多个气孔，所述气孔用于向所述基板喷出气体，以避免所述基板下垂或翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 手臂 转运 方法 | ||
【主权项】：
一种机械手臂，其特征在于，包括主支撑臂和至少两个辅助支撑臂，所述主支撑臂用于支撑基板，所述辅助支撑臂与所述主支撑臂连接，且所述辅助支撑臂设置在所述主支撑臂的两侧，所述辅助支撑臂上设置有多个气孔，所述气孔用于向所述基板喷出气体，以避免所述基板下垂或翘曲。
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