[发明专利]薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制造方法

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制造方法，属于显示技术领域。薄膜晶体管包括源极、漏极、有源层、栅绝缘层和栅极；有源层和漏极位于同一层，有源层的材料包括金属氧化物，漏极的材料包括导体化的金属氧化物；源极与栅绝缘层位于有源层的同一侧，且源极和栅绝缘层与有源层的同一侧面相接触，栅绝缘层位于源极与漏极之间，栅绝缘层的厚度大于源极的厚度，源极的材料包括金属；栅极与栅绝缘层远离有源层的一面相接触。本发明的薄膜晶体管的漏极的材料包括导体化的金属氧化物，源极的材料包括金属，源极和数据线是源极层通过构图工艺形成的，所以数据线的材料与源极的材料均包括金属，解决了信号延迟的问题。

主权项

1.一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括源极、漏极、有源层、栅绝缘层和栅极；所述有源层和所述漏极位于同一层，所述有源层的材料包括金属氧化物，所述漏极的材料包括导体化的金属氧化物；所述源极与所述栅绝缘层位于所述有源层的同一侧，且所述源极和所述栅绝缘层与所述有源层的同一侧面相接触，所述栅绝缘层位于所述源极与所述漏极之间，以及，所述栅绝缘层位于所述栅极与所述有源层之间，所述栅绝缘层的厚度大于所述源极的厚度，所述栅极通过所述栅绝缘层与所述源极绝缘，所述源极的材料包括金属，所述源极和数据线由源极层通过一次构图工艺形成；所述栅极与所述栅绝缘层远离所述有源层的一面相接触。