[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510557252.9 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105403208A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器元件(1)具备：驱动部(24)，其呈沿着XY平面的板状，且在Z轴方向上进行振动；检测部(21)，其利用作用于驱动部(24)上的科里奥利力而在X轴方向上进行振动；梁部(25)，其对驱动部(24)和检测部(21)进行连接；固定部(22)；梁部(23)，其对检测部(21)和固定部(22)进行连接，梁部(25)的Z轴方向上的弹簧常数小于梁部(23)的Z轴方向上的弹簧常数，梁部(23)的Z轴方向上的弹簧常数大于梁部(23)的X轴方向上的弹簧常数。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 元件 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：驱动部，其在沿着与基准面正交的第一轴的第一方向上进行振动；检测部，其利用作用于所述驱动部上惯性力而在沿着所述基准面内的第二轴的第二方向上进行振动；第一梁部，其对所述驱动部和所述检测部进行连接；固定部；第二梁部，其对所述检测部和所述固定部进行连接；所述第一梁部的所述第一方向上的弹簧常数小于所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数，所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数大于所述第二梁部的所述第二方向上的弹簧常数。
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