[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510557252.9 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105403208A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 元件 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：
驱动部，其在沿着与基准面正交的第一轴的第一方向上进行振动；
检测部，其利用作用于所述驱动部上惯性力而在沿着所述基准面内的第二轴的第二方向上进行振动；
第一梁部，其对所述驱动部和所述检测部进行连接；
固定部；
第二梁部，其对所述检测部和所述固定部进行连接；
所述第一梁部的所述第一方向上的弹簧常数小于所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数，
所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数大于所述第二梁部的所述第二方向上的弹簧常数。
2.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，
在将所述第一梁部的所述第一方向上的弹簧常数设为k1z、将所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数设为k2z时，
满足k1z/k2z≤1/10的关系。
3.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，
所述第一梁部的长度长于所述第二梁部的长度。
4.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，
所述第一梁部具有在从所述第一方向进行俯视观察时蜿蜒延伸的部分。
5.如权利要求4所述的物理量传感器元件，其中，
所述第一梁部包括沿着所述第二轴而延伸的第一部分、和沿着在所述基准面内与所述第二轴正交的第三轴而延伸的第二部分，
所述第一部分的长度长于所述第二部分的长度。
6.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，
所述第一梁部的厚度与所述第二梁部的厚度相比而较薄。
7.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，
所述第二梁部的宽度小于厚度。
8.一种物理量传感器，其特征在于，具备：
权利要求1所述的物理量传感器元件；
封装件，其收纳所述物理量传感器元件。
9.一种电子设备，其特征在于，
具备权利要求1所述的物理量传感器元件。
10.一种移动体，其特征在于，
具备权利要求1所述的物理量传感器元件。
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