[发明专利]一种晶圆湿法腐蚀清洗装置

摘要

本发明涉及一种晶圆湿法腐蚀清洗装置，共包括外壳；工作台面，外壳安装在工作台面上；N2气帘生成件，N2气帘生成件安装在外壳的上部；第一内壳，第一内壳设置在外壳内，外壳与第一内壳构成第一工作腔；第二内壳，第二内壳设置在第一内壳内，第二内壳与第一内壳构成第二工作腔；第三内壳，第三内壳设置在第二内壳内，第三内壳与第二内壳构成第三工作腔；化学溶液喷洒件，用于向晶圆片表面喷洒化学溶液；晶圆片移动件，用于将晶圆片依次置于第一工作腔、第二工作腔、第三工作腔。利用本发明的清洗装置，晶圆片在一个工位完成多种化学液腐蚀清洗功能，提高了清洗效率。此外，该装置实现化学液单独排放、回收和循环再利用，保证洁净度要求。

主权项

一种晶圆湿法腐蚀清洗装置，用于对晶圆片进行腐蚀清洗，其特征在于，包括：外壳，所述外壳包括外壳本体和外壳上盖，所述外壳上盖设置在所述外壳上部；工作台面，所述外壳安装在所述工作台面上；N2气帘生成件，所述N2气帘生成件安装在所述外壳的上部；第一内壳，所述第一内壳设置在所述外壳内，外壳与第一内壳构成第一工作腔；所述第一内壳设有第一排液件和第一排风件，第一排液件用于排出第一工作腔内的液体；第二内壳，所述第二内壳设置在所述第一内壳内，第二内壳与第一内壳构成第二工作腔；所述第二内壳设有第二排液件和第二排风件，第二排液件用于排出第二工作腔内的液体；第三内壳，所述第三内壳设置在所述第二内壳内，第三内壳与第二内壳构成第三工作腔；所述第三内壳设有第三排液件和第三排风件，第三排液件用于排出第三工作腔内的液体；所述外壳设有第四排液件和第四排风件，第四排液件用于排出废液；化学溶液喷洒件，用于向晶圆片表面喷洒化学溶液；晶圆片移动件，用于将晶圆片依次置于第一工作腔、第二工作腔、第三工作腔。