[发明专利]单个纳米颗粒粒径的测量方法

摘要

本发明涉及一种单个纳米颗粒粒径的测量方法，包括预估待测的纳米颗粒的种类及粒径的分布范围；制作标准纳米颗粒的样本；得到第一基板上一预定区域的每个标准纳米颗粒的粒径大小，将获得的测量数据作为基准；获取所述预定区域内标准纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像；获得对应于每个标准纳米颗粒的散射光斑强度；建立起标准纳米颗粒的散射光斑强度与标准纳米颗粒粒径之间的对应关系；制作待测纳米颗粒的样本；获取待测纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像；以及获得对应于每个待测纳米颗粒的散射光斑强度，并根据建立起的纳米颗粒的标准散射光斑强度与标准纳米颗粒粒径之间的对应关系，得到暗场显微图像中待测纳米颗粒的粒径。

主权项

一种单个纳米颗粒粒径的测量方法，包括以下步骤：提供一单个纳米颗粒粒径的测量系统，包括一光源，一暗场聚光器模组，一载物台，一物镜，一凸透镜，一CCD及其控制器，一数据线以及一显示及处理单元依次间隔设置，其特征在于，所述光源发出的单色光经过暗场聚光器模组整形后成为中空光锥，照射到载物台上并产生散射光，散射光经过物镜，凸透镜，最终在CCD及其控制器上成像，并通过数据线传输给显示及处理单元；预估待测的纳米颗粒的种类及粒径的分布范围；将标准纳米颗粒分散在一第一基板上，制作标准纳米颗粒的样本；采用显微成像法测量所述的标准纳米颗粒的样本，测量得到第一基板上一预定区域的每个标准纳米颗粒的粒径D大小，将获得的测量数据作为基准；将承载有标准纳米颗粒的第一基板放在载物台上，采用单个纳米颗粒粒径的测量系统获取所述预定区域内标准纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像；处理获取的标准纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像，获得对应于每个标准纳米颗粒的散射光斑强度Intλ；根据获得的每个纳米颗粒的粒径的测量数据与对应的每个标准纳米颗粒的散射光斑强度，建立起标准纳米颗粒的散射光斑强度Intλ与标准纳米颗粒粒径D之间的对应关系；将待测纳米颗粒分散在一第二基板上，制作待测纳米颗粒的样本；将承载有待测纳米颗粒的第二基板放在载物台上，采用单个纳米颗粒粒径的测量系统对承载有待测纳米颗粒的第二基板进行观测，获取待测纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像；以及根据获取的待测纳米颗粒的散射光斑的暗场显微图像，获得对应于每个待测纳米颗粒的散射光斑强度Int′λ，并根据建立起的纳米颗粒的标准散射光斑强度Intλ与标准纳米颗粒粒径D之间的对应关系，得到暗场显微图像中待测纳米颗粒的粒径D′。