[发明专利]薄膜晶体管结构在审
申请号: | 201510477137.0 | 申请日: | 2015-08-06 |
公开(公告)号: | CN106409916A | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 周凯茹;吴哲耀;赖谷皇;江宜达 | 申请(专利权)人: | 凌巨科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/423 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种薄膜晶体管结构,其包含一基板、一第一金属层、一第一缓冲层、一半导体层、一第二金属层、一第二缓冲层以及一第三金属层,该第二金属层包含一间隔区,该半导体层包含一通道区,本发明通过该第一金属层以及第三金属层产生双闸极,通过双闸极结构夹合信道区,进而提升薄膜晶体管的开电流,达到元件驱动效率提升的目的。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 结构 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管结构,其特征在于,包含:一基板,一第一金属层,设于该基板上;一第一缓冲层,覆盖该基板及该第一金属层;一半导体层,设于该第一缓冲层上;一第二金属层,设于该半导体层上,并具有一间隔区;一第二缓冲层,覆盖该第二金属层;以及一第三金属层,设于该第二缓冲层上。
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