[发明专利]一种改进谐振腔的窄线宽准分子激光器

摘要

本发明公开了一种准分子激光器，包括放电腔，该放电腔具有两个相对的出射端，其中一个出射端放置全反镜，另一个出射端沿光路依次放置棱镜和光栅，该激光器的谐振腔由所述全反镜和所述光栅之间的光路上的光学元件构成，该谐振腔的输出位于所述棱镜的表面反射处。所述放电腔的两端放置可分别放置一个狭缝，放电腔出射的激光通过所述狭缝出射。还可包括标准具，其位于所述谐振腔的输出光路上或位于谐振腔光路中。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，还可以提高输出激光的能量及稳定性。且本发明结构简单，有利于降低成本且调谐方便。

主权项

1.一种准分子激光器，包括放电腔，该放电腔具有两个相对的出射端，其中一个出射端放置全反镜，另一个出射端沿光路依次放置棱镜和光栅，该激光器的谐振腔由所述全反镜和所述光栅之间的光路上的光学元件构成，该谐振腔的输出位于所述棱镜的表面反射处；其中，光束在棱镜上的入射角度影响棱镜的扩束倍数，进而会导致输出激光线宽的变化，所述扩束倍数为其中，M1、M2、M3分别为第一块、第二块、第三块棱镜的扩束倍数，i1、i'1分别为第一块棱镜的入射角及出射角，i2、i'2分别为第二块棱镜的入射角及出射角；另一方面，光束的在棱镜中的透过率以及棱镜表面的反射率与入射角有关：上式中，T_p表示P偏振光的透过率，表示P偏振光透射的光强，表示入射光中P偏振光的光强，θ₁表示入射角，θ₂表示折射角；根据上述线宽和输出激光能量权衡计算得出，光束在所述棱镜上的入射角为72°～76°；所述光栅4是Littrow光栅，且是一个中阶梯光栅。