[发明专利]激光加工方法以及激光加工装置

摘要

本发明提供能够在加工对象物的表面上不发生熔融或者偏离切割预定线的分割而切割加工对象物的激光加工方法以及激光加工装置，其中，在引起多光子吸收的条件下而且在加工对象物(1)的内部对准聚光点(P)，在加工对象物(1)的表面(3)的切割预定线(5)上照射脉冲激光(L)，通过使聚光点(P)沿着切割预定线(5)移动，沿着切割预定线(5)在加工对象物(1)的内部形成改质区，通过从改质区开始，沿着切割预定线(5)分割加工对象物(1)，能够用比较小的力切割加工对象物(1)，由于在激光(L)的照射过程中，在加工对象物(1)的表面(3)上几乎不吸收脉冲激光(L)，因此即使形成改质区也不会熔融表面(3)。

主权项

一种激光加工装置，特征在于：是在光透射性材料的内部沿着切割图形形成裂纹点的激光加工装置，具备：载置所述光透射性材料的载置台；出射脉冲激光的激光光源；向所述光透射性材料照射光的观察用照明；摄影元件，对通过所述观察用照明的照射而得到的所述光透射性材料的表面观察像进行摄影；分色镜(103)，配置成具有将来自所述激光光源的激光反射的功能而且把所述激光的光轴朝向改变90°；聚光用透镜(105)，聚光由所述分色镜(103)反射的所述激光，将从所述激光光源出射的所述激光聚光于载置在所述载置台上的所述光透射性材料的内部；可见光用的光束分裂器(119)，配置在与所述分色镜(103)以及所述聚光用透镜(105)相同光轴上；自动聚光单元，利用所述表面观察像以从观察用照明出射的光在所述光透射性材料的表面上聚焦的方式调整聚光点，在调整聚光点之后，将所述脉冲激光的聚光点设置在所述光透射性材料的内部；以及计算机单元，通过改变所述脉冲激光的重复频率和所述光透射性材料的移动速度的关系来调整裂纹点的间隔，以沿着所述切割图形形成裂纹点的方式进行控制；在所述光束分裂器(119)与所述聚光用透镜(105)之间配置着所述分色镜(103)，所述光束分裂器(119)配置成使得具有反射可见光线的大约一半且透过其余一半的功能，而且把可见光线的光轴朝向改变90°，从所述观察用光源(117)产生的可见光线由光束分裂器(119)反射大约一半，该被反射的可见光线透过分色镜(103)以及所述聚光用透镜(105)，照明包括加工对象物的切割预定线的所述透射性材料的表面(3)。