[发明专利]一种大尺寸磨削晶圆厚度测量夹具

摘要

本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆厚度测量夹具，包括检测探头、吸盘、带刻度吸盘载台、带刻度导轨底座。检测探头为锥形；吸盘部分包括吸孔、定位销、阀门、定位线和吸盘转轴；吸孔用于吸附晶圆，定位销和定位线用于定位测量晶圆，阀门控制抽真空过程。带刻度吸盘载台由刻度、吸盘转轴凹槽、吸盘转轴制动螺钮、滑块、微调螺杆、微调螺杆配合凹槽构成；吸盘转轴凹槽与吸盘低端旋转轴配合可使吸盘旋转，吸盘转轴制动螺钮用于制动吸盘转轴。带刻度导轨底座上的导轨与吸盘载台上的滑块配合，导轨底座开有安置微调螺杆的凹槽，调节微调螺杆使吸盘载台带动吸盘在导轨上线性滑动。本发明结构简单，操作方便，可对晶圆表面任意位置厚度进行测量。

主权项

一种大尺寸磨削晶圆厚度测量夹具；其特征在于，由上至下包括检测探头、吸盘、带刻度吸盘载台和带刻度导轨底座；所述检测探头为锥形或圆柱形；所述吸盘部分包括：吸孔(104)、定位销(102)、阀门(105)、定位线(301)和吸盘转轴(201)；所述带刻度吸盘载台部分包括：角度刻度、吸盘转轴凹槽701、吸盘转轴制动螺钮(702)、滑块(1001)、微调螺杆(109)、微调螺杆配合内槽(901)、微调螺杆配合外槽(902)；所述导轨底座部分包括：距离刻度、微调螺杆(109)、导轨(110)、底座凹槽(1201)、可拆卸固定螺栓(108)；其中，所述吸孔(104)呈同心圆分布在吸盘表面，定位销(102)与吸盘表面固接，定位线(301)位于吸盘表面的边缘；阀门(105)通过铆钉或螺钉与吸盘侧壁连接，吸盘转轴(201)与吸盘底面固接，吸盘转轴(201)嵌入吸盘转轴凹槽(701)，由吸盘转轴制动螺钮(702)固定制动；吸盘载台底部的滑块(1001)嵌入导轨(110)；所述微调螺杆(109)端部设置螺纹，微调螺杆配合内槽(901)、微调螺杆配合外槽(902)设置在带刻度吸盘载台底端边缘，微调螺杆(109)端部螺纹与底座凹槽(1201)内部螺纹咬合，同时与吸盘载台底部的微调螺杆配合内槽(901)配合，可拆卸固定螺栓(108)与导轨底座底面固接。