[发明专利]一种焦面探测单元以及自动调焦的对准系统

摘要

本发明提供的位于光刻机中的对准系统中的焦面探测单元，通过视场光阑、调焦透镜与探测器顺序排列放置，将透过视场光阑的入射光束通过调焦透镜折射到探测器上，由探测器显示出入射光束的投射在探测器上的坐标，并加以计算。因此这种焦面探测单元能够及时、简便地计算出入射光束的离焦量。本发明提供的自动调焦对准系统中的分光组件旁设置焦面探测单元，这样掩模或者工件上反射或者折射的光线进入焦面探测单元后，由探测器计算出离焦量，并输送至控制单元，由控制单元控制工件台的移动，直至焦面探测单元计算出的离焦量为0，成像传感器上呈现出清晰的对准标记像，完成了自动调焦。因此这种自动调焦对准系统具有及时、准确、操作简单的特点。

主权项

一种焦面探测单元，位于光刻机中的对准系统中，所述焦面探测单元依次包括形成光路连接的视场光阑、调焦透镜以及探测器，其特征在于，所述调焦透镜在垂向上偏离所述视场光阑光轴放置，偏离距离为D，入射光束的离焦量Δ可表示为：|yM-yN|=β×Δy=β×Δ×DΔ-L]]>其中yN是所述对准系统设定的最佳焦面在所述探测器上标定的垂向高度，yM是所述入射光束显示在所述探测器上实际的垂向高度，β是所述视场光阑与所述探测器共轭面之间的光学放大倍率，Δy为离焦量Δ对应在所述视场光阑上的位移，L为所述调焦透镜与所述视场光阑之间的水平距离。