[发明专利]化学分解法提纯硅烷的方法在审
申请号: | 201510413775.6 | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN106348303A | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 黄国强;黄友光;苏国良;王乃治 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及化学分解法提纯硅烷的方法,在反应器中装有反应剂,粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后,高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100~100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂,串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单,设备投资少,得到的硅烷纯度高,采用化学分解法分离提纯,提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。 | ||
搜索关键词: | 化学 解法 提纯 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
化学分解法提纯硅烷的方法;其特征是在反应器中装有反应剂,粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后,高纯硅烷经过采出口采出。
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