[发明专利]一种螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201510409891.0 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN104953223B | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 苟君;唐荣;王军;蒋亚东;黎威志 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01P5/12 | 分类号： | H01P5/12 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 杨保刚,徐金琼 |
| 地址： | 611731 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法，属于螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法的技术领域，解决现有技术中金属薄膜的吸收率更低，且只能单独用作太赫兹辐射吸收层的问题。本发明包括衬底，设置在衬底上的驱动电路，驱动电路上设置的电路接口，设置在驱动电路和衬底上的牺牲层，支撑层、带馈点的螺旋天线层、可露出螺旋天线层馈点的钝化层自下而上依次设置在牺牲层上，在螺旋天线层的馈点处设置有氧化钒层，支撑层和螺旋天线层分别与电路接口相连接。本发明用于红外与太赫兹探测与成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋 天线 耦合 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种螺旋天线耦合微桥结构，其特征在于，包括衬底(10)，设置在衬底(10)上的驱动电路(20)，驱动电路(20)上设置的电路接口(21)，设置在驱动电路(20)和衬底(10)上的牺牲层(30)，自下而上依次设置在牺牲层(30)上的支撑层(40)、带馈点的螺旋天线层(50)、可露出螺旋天线层(50)馈点的钝化层(60)，在螺旋天线层(50)的馈点处设置有氧化钒层(70)，支撑层(40)和螺旋天线层(50)分别与电路接口(21)相连接；所述带馈点的螺旋天线层(50)包括支撑层(40)上的传统蚊香型螺旋天线和桥腿，桥腿连接传统蚊香型螺旋天线和电路接口(21)。
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