[发明专利]多晶硅样品刻蚀装置

摘要

本发明涉及一种多晶硅样品刻蚀装置，包括密封桶体、连杆装置、样品支架以及样品载台，桶体中央设有保护塔，连杆装置垂直于桶体底部可转动地设置于保护塔内；多晶硅样品刻蚀装置还包括与保护塔的外壁连接且垂直于桶体底部的隔板，隔板将桶体内的空间隔开形成两个以上的工作区域；连杆装置、样品支架以及样品载台依次连接，所述保护塔的外壁开设有一圈窗口，以供样品支架从保护塔内伸进工作区域且可随连杆装置转动而不会被保护塔外壁阻碍。本发明通过连杆装置控制支架前端绕转轴升降，从而控制样品载台上的样品是否浸渍于刻蚀液中。样品刻蚀过程发生在由密封桶体提供的全密封环境下，避免刻蚀液挥发等原因损害操作人员的人身健康。

主权项

一种多晶硅样品刻蚀装置，包括密封桶体、连杆装置、样品支架以及样品载台，其特征在于，所述桶体中央设有保护塔，所述连杆装置垂直于桶体底部可转动地设置于所述保护塔内；所述多晶硅样品刻蚀装置还包括与所述保护塔的外壁连接且垂直于桶体底部的隔板，所述隔板将桶体内的空间隔开形成两个以上的工作区域；所述连杆装置、样品支架以及样品载台依次连接，所述保护塔的外壁开设有一圈窗口，以供样品支架从保护塔内伸进工作区域且可随连杆装置转动而不会被保护塔外壁阻碍；所述隔板上开设有隔板缺口，以供样品支架和样品载台随所述连杆装置转动时能从一个工作区域穿过所述隔板缺口至另一个工作区域，所述连杆装置可控制所述样品支架升降。