[发明专利]用于多晶硅生产中的除尘系统和除尘方法

摘要

本发明提供一种用于多晶硅生产中的除尘系统，包括冷却单元和过滤单元，冷却单元用于对生成物料进行冷凝处理，并将未冷凝气直接排出，将冷凝形成的含有硅粉的液相氯硅烷输出至过滤单元；过滤单元用于对含有硅粉的液相氯硅烷进行过滤处理，以得到不含硅粉的液相氯硅烷，并将其作为干净物料输出至冷却单元，冷却单元还用于对干净物料与生成物料的混合物进行冷凝处理，并将未冷凝气直接排出，将冷凝形成的含有硅粉的液相氯硅烷输出至过滤单元，如此循环往复以去除生成物料中的硅粉。相应地，提供一种用于多晶硅生产中的除尘方法。本发明所述除尘系统和除尘方法能够有效去除四氯化硅高温氢化反应生成物料中的硅粉，且排渣物料中不含硅粉。

主权项

1.一种用于多晶硅生产中的除尘系统，用于去除四氯化硅高温氢化反应生成物料中的硅粉，所述生成物料包括氯硅烷气体、氢气、微量氯化氢气体和硅粉的混合物，其特征在于，所述除尘系统包括冷却单元和过滤单元，所述冷却单元用于对所述生成物料进行冷凝处理，以分别形成含有硅粉的液相氯硅烷和未冷凝气，所述未冷凝气包括氢气和微量氯化氢气体的混合气，并将所述未冷凝气直接排出，将含有硅粉的液相氯硅烷输出至所述过滤单元；所述过滤单元用于对含有硅粉的液相氯硅烷进行过滤处理，以得到不含硅粉的液相氯硅烷，并将其作为干净物料输出至所述冷却单元，以使所述干净物料与所述生成物料在所述冷却单元内混合，所述冷却单元还用于对所述干净物料与所述生成物料的混合物进行冷凝处理，以分别形成含有硅粉的液相氯硅烷和所述未冷凝气，并将所述未冷凝气直接排出，将含有硅粉的液相氯硅烷输出至所述过滤单元，如此循环往复以去除所述生成物料中的硅粉；所述冷却单元为急冷塔，其内设置有喷淋子单元，所述喷淋子单元用于向进入急冷塔内部的物料喷射冷液体，从而分别形成含有硅粉的液相氯硅烷、所述未冷凝气和汽化后的冷液体的混合气，而所述未冷凝气和汽化后的冷液体的混合气被直接排出；所述除尘系统还包括增压单元，其设置在所述冷却单元和所述过滤单元之间，用于将所述冷却单元输出的含有硅粉的液相氯硅烷进行增压处理以形成增压后的含硅粉的液相氯硅烷，并输出至所述过滤单元；所述增压单元采用循环泵。