[发明专利]一种测量透明球形空腔容器厚度的方法

摘要

本发明公开了一种测量透明球形空腔容器厚度的方法,该方法基于光的干涉原理，主要通过光场干涉现象，确定物体厚度与干涉图样的关系。该方法的系统由氦氖激光器、扩束系统、半透半反镜、小孔光阑、接收屏及测量导轨、载物台及透明球形空腔容器组成。氦氖激光器产生的激光通过半透半反镜先反射至透明球形空腔容器表面；然后透明球形空腔容器内、外表面分别反射光至接收屏产生干涉场；对干涉场中的条纹图样进行接收并测量，从而提取出干涉场的信息。本方法能够实现透明球形空腔容器厚度的非接触式无损测量。本方法的测量过程无需镀膜、注入液体等其他辅助测量方式，具有装置简单，可操作性强的特点。

主权项

一种测量透明球形空腔容器厚度的方法，包括由氦氖激光器、扩束系统、半透半反镜、小孔光阑、载物台、接收屏、测量导轨组成的测量系统，以及透明球形空腔容器样品，其特征在于：该测量方法包括以下步骤：第1、打开激光器后，对光束进行调平保证其与抗震台表面平行，并通过扩束系统对光束进行扩束；第2、使光束通过半透半反镜，调节半透半反镜使激光束垂直入射到透明球形空腔容器样品；第3、保持接收屏与入射光线垂直，使透明球形空腔容器内、外表面的反射光经半透半反镜后在接收屏处形成干涉条纹图样，同时保持入射光束与接收屏上记录条纹位置等高；第4、调节测量导轨，记录干涉环形条纹半径，并根据反射光的条纹图案和透明球形空腔容器厚度之间的关系式求得透明球形空腔容器厚度。