[发明专利]一种激光器线宽测量方法及系统

摘要

本发明公开了一种激光器线宽测量方法及系统，方法包括步骤：S1、将待测激光光束进行聚焦，测量焦平面上的光斑大小值为ω₀，获得待测激光光束的初始发散角f为焦距；S2、将所述待测激光束进行光栅衍射得到-1级衍射光，将所述-1级衍射光聚焦后，测量焦平面上的光斑大小值为ω'，获得光栅衍射后待测激光光束的发散角θ'，S3、计算所述待测激光光束的线宽Δλ＝Δθ·d·cosθ，其中，d为光栅常数，θ为光栅衍射角，所述光栅衍射后待测激光光束的发散角的增大量Δθ＝θ'-θ₀。本发明还提供了实现上述方法的系统，系统包括沿激光器出射光路依次放置的衍射光栅、聚焦装置、和光斑测量装置。相比于现有技术，本发明系统结构简单，方法易于实现，尤其适用于窄线宽激光器线宽的测量。

主权项

一种激光器线宽测量方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、将待测激光光束进行聚焦，测量焦平面上的光斑大小值为ω₀，获得待测激光光束的初始发散角f为焦距；S2、将所述待测激光束进行光栅衍射得到‑1级衍射光，将所述‑1级衍射光聚焦后，测量焦平面上的光斑大小值为ω'，获得光栅衍射后待测激光光束的发散角θ'，S3、计算所述待测测激光光束的线宽Δλ＝Δθ·d·cosθ，其中，d为光栅常数，θ为光栅衍射角，所述光栅衍射后待测激光光束的发散角的增大量Δθ＝θ'‑θ₀。