[发明专利]一种用于晶片检测的电气检测设备在审
申请号: | 201510328428.3 | 申请日: | 2015-06-15 |
公开(公告)号: | CN105182097A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 黄染之 | 申请(专利权)人: | 黄染之 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 闫艳艳 |
地址: | 545000 广西壮族自*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于检测晶片的电气检测设备,带有一个与被测件相对的触头(6),触头(6)上带有形成触针布置的销状接触元件;这种设备还带有一个电气连接装置(7),它的接触面与销状接触元件上背朝被测件的一端相接触,一个借助多个滑动导向件(22)从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置(20)使触头(6)和电气连接装置(7)的中心相互对准,所述定中心装置(20)位于触针布置之外,所述滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 晶片 检测 电气 设备 | ||
【主权项】:
一种用于检测晶片的电气检测设备,带有一个与被测件相对的触头(6),触头(6)上带有形成触针布置的销状接触元件;这种设备还带有一个电气连接装置(7),它的接触面与销状接触元件上背朝被测件的一端相接触,其特征在于,一个借助多个滑动导向件(22)从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置(20)使触头(6)和电气连接装置(7)的中心相互对准,所述定中心装置(20)位于触针布置之外,所述滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成。
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