[发明专利]一种用于晶片检测的电气检测设备

说明书

技术领域

本发明涉及电气测试领域，具体涉及一种用于晶片检测的电气检测设备。

背景技术

目前,经常使用的这种电气检测设备被用来和被测件进行电接触，以测试它的功能。这种电气检测设备与被测件之间为电连接，也就是说，它一方面与被测件的电气端子接触，另一方面又将电接触用来连接一个检测系统，这个系统通过检测设备向被测件发送电信号，测量它的电阻、电流和电压等以检测它的功能。由于电气上的被测件常常是极其细小的、用来制作电子部件的电子元件如晶片，因此，触头的销状接触元件的尺寸也极小。为了能与检测系统连接，探头的接触元件与一个连接装置相接触，这个装置通过转换使接触间隙变大，从而可以与通向检测系统的连接电缆相连接。由于在测试时会出现不同的室温，并且优选的是，在被测件温度不同时对它进行测试，以便在一个确定的温度范围内检测它的功能。但是，已知的电气检测设备会有以下危险：由于温度变化而产生的长度变化使得定位出现误差，从而无法再保证接触元件和连接装置上相对应的接触面之间实现准确的接触。这种位置偏移是由所用材料的温度膨胀系数的不同而造成的，在这里，由于设计上的原因必须采用某种材料，这样就不可能通过使触头和连接装置使用同一种材料的方式解决上述问题。另外各部件加热时所达到温度的不同也会导致位置偏移。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供一种用于检测晶片的电气检测设备来克服现有技术中存在的不足之处。

一种用于检测晶片的电气检测设备，带有一个与被测件相对的触头(6)，触头(6)上带有形成触针布置的销状接触元件；这种设备还带有一个电气连接装置(7)，它的接触面与销状接触元件上背朝被测件的一端相接触，一个借助多个滑动导向件(22)从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置(20)使触头(6)和电气连接装置(7)的中心相互对准,所述定中心装置(20)位于触针布置之外，所述滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成。

优选地，所述定中心装置(20)带有至少三个，所述滑动导向件(22)使四个在角度上相互错开布置。

优选地，每个滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成，所述突出状部件(23)是一个异型销(24)，凹口(27)是一个开口(28)。

优选地，突出状部件(23)穿过连接装置(7),并延伸到一个对连接装置(7)施加作用的支承装置(8)中，所述突出状部件(23)四周无间隙地固定在支承装置(8)的一个固定凹口(51)中。

优选地，突出状部件(23)固定在支举装置(8)上，突出状部件(23)被分开，并且在其位于连接装置(7)内的那部分上带有一个接口缝(41)。

优选地，接口缝(41)位于一个与检测平面平行的平面上。

优选地，突出状部件(23)或异型销(24)在它的外表面(25)带有导向工具，特别是两个正好相对的、平行的导向平面(26),它们各自与检测设备的径向平行。

优选地，连接装置(7)是一个印刷电路板(10)。

优选地，接触元件(9)是可沿纵向移动的挠曲导线(15)。

优选地，突出状部件(23),特别是异型销(24)在边侧带有一个沟槽(48)，它与触头(6)和/或支承装置(8)上的开口(50)相对，并且一个配合件，特别是一个配合板条(37)被插入到沟槽(48)和开口之(50)中，以使突出状部件(23)在轴向上固定，所述开口(50)的起点是凹口(27)的侧边。

本发明的技术方案具有以下有益效果：

本发明提供的一种用于检测晶片的电气检测设备，克服了因为温度变化引起长度变化、从而影响定位的缺陷，保证了接触元件和连接装置上相对应的接触面之间的准确接触。

附图说明

下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。

图1为本发明用于检测晶片的电气检测设备的剖面示意图；

图2为图1中所示用于检测晶片的的检测设备的俯视图，图中略去与本发明无关的部件；