[发明专利]一种用于晶片检测的电气检测设备

权利要求书

1.一种用于检测晶片的电气检测设备，带有一个与被测件相对的触头(6)，触头(6)上带有形成触针布置的销状接触元件；这种设备还带有一个电气连接装置(7)，它的接触面与销状接触元件上背朝被测件的一端相接触，其特征在于，一个借助多个滑动导向件(22)从而允许在径向上出现温度膨胀变化的定中心装置(20)使触头(6)和电气连接装置(7)的中心相互对准,所述定中心装置(20)位于触针布置之外，所述滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成。

2.根据权利要求1所述的电气检测设备，其特征在于，所述定中心装置(20)带有至少三个，所述滑动导向件(22)使四个在角度上相互错开布置。

3.根据权利要求2所述的电气检测设备，其特征在于，每个滑动导向件(22)由一个位于触头(6)或连接装置(7)之上的突出状部件(23)和一个在连接装置(7)和/或触头(6)中的、在径向上有间隙而在切线方向上无间隙地将突出状部件(23)容纳在内的凹口(27)形成，所述突出状部件(23)是一个异型销(24)，凹口(27)是一个开口(28)。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的电气检测设备，其特征在于，突出状部件(23)穿过连接装置(7),并延伸到一个对连接装置(7)施加作用的支承装置(8)中，所述突出状部件(23)四周无间隙地固定在支承装置(8)的一个固定凹口(51)中。

5.根据权利要求4所述的电气检测设备，其特征在于，突出状部件(23)固定在支举装置(8)上，突出状部件(23)被分开，并且在其位于连接装置(7)内的那部分上带有一个接口缝(41)。

6.根据权利要求5所述的电气检测设备，其特征在于，接口缝(41)位于一个与检测平面平行的平面上。

7.根据权利要求6所述的电气检测设备，其特征在于，突出状部件(23)或异型销(24)在它的外表面(25)带有导向工具，特别是两个正好相对的、平行的导向平面(26),它们各自与检测设备的径向平行。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，连接装置(7)是一个印刷电路板(10)。

9.根据权利要求1或2所述的电气检测设备，其特征在于，接触元件(9)是可沿纵向移动的挠曲导线(15)。

10.根据权利要求7所述的电气检测设备，其特征在于，突出状部件(23),特别是异型销(24)在边侧带有一个沟槽(48)，它与触头(6)和/或支承装置(8)上的开口(50)相对，并且一个配合件，特别是一个配合板条(37)被插入到沟槽(48)和开口之(50)中，以使突出状部件(23)在轴向上固定，所述开口(50)的起点是凹口(27)的侧边。