[发明专利]溅射设备及其基板承载装置

摘要

本发明涉及显示技术领域，公开了一种基板承载装置，包括侧向托板和上夹持座；所述侧向托板具有一个承托面，所述上夹持座设于承托面的上侧；所述上夹持座设有多个夹持器，用于夹持所述基板；所述承托面的左右两侧分别设有多个定位卡夹，用于从基板的左右两端定位所述基板。本发明基板承载装置，在上夹持座设置夹持器，基板在装载过程中，机械手运送基板到位后，由夹持器夹持且吊挂，基板无坠落动作，减少基板损坏的风险。本发明进一步提供一种溅射设备。

主权项

一种基板承载装置，其特征在于，包括：侧向托板和上夹持座；所述侧向托板具有一个承托面，所述上夹持座设于承托面的上侧；所述上夹持座设有多个夹持器，用于夹持所述基板；所述承托面的左右两侧分别设有多个定位卡夹，用于从基板的左右两端定位所述基板；其中，所述夹持器包括：转动驱动器、转动臂、固定夹板和活动夹板，所述固定夹板设于所述上夹持座，所述活动夹板的上端与所述固定夹板的上端通过铰链相铰接，所述转动臂的摆动端与所述活动夹板固定连接，所述转动臂的驱动端与所述转动驱动器相连接，所述转动驱动器通过转动臂驱动所述活动夹板绕所述铰链转动，使所述活动夹板与固定夹板闭合或者打开；该基板承载装置还包括承托底座，所述承托底座设于所述承托面的下侧，且与所述上夹持座相对布置；所述承托底座设有承托单元，用于从下端向上承托所述基板；所述承托单元包括支撑气缸和支撑板，所述支撑气缸设于承托底座，所述支撑板设于支撑气缸的活塞杆；所述转动驱动器包括伺服电机和可在所述伺服电机驱动下转动的转盘，所述转动臂的驱动端设有滑槽，所述转盘设有凸轴，所述凸轴可滑动地插设于所述滑槽。