[发明专利]TEOS机台的排气管连接件以及排气管

摘要

本发明提供一种TEOS机台的排气管连接件以及排气管，连接件包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。本发明中，第一管与第二管之间形成半封闭的连接空间，使得在未反应的气体或者反应的副产物排出反应腔室的过程中，形成的残留物可以沉积在半封闭的连接空间中，不会将排气管堵住。在后期的TEOS机台维护过程中，只需要将连接空间中的残留物去除即可，不会对机台的使用产生影响。

主权项

一种TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度；所述第二管包括第一连接部与第二连接部，连接于所述TEOS机台的排气管之间，其中，所述第一连接部与所述第二管的顶端相连，所述第二连接部与所述第二管的底端相连。