[发明专利]一种石英陶瓷坩埚的制作方法

摘要

本申请公开了一种石英陶瓷坩埚的制作方法，通过将熔融石英块料及熔融石英陶瓷毛坯回收料作为原料制作料浆，并经过浇注、烘干、烧结工序制作成石英陶瓷坩埚，之后再用等离子体发生器进行内表面热处理的方法，使熔融石英陶瓷内表面能形成一层石英玻璃层，使内表面更加光滑。由此，通过将石英陶瓷坩埚制作工艺过程中产生的废品重新作为原料使用，节省了成本，达到了资源再利用。

主权项

一种石英陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，制浆：将石英原料及质量为石英原料0.5～1.5‰的乳酸和2～4‰的聚乙烯醇加入球磨机内，其中所述石英原料包括熔融石英块料和熔融石英陶瓷毛坯回收料，熔融石英块料和熔融石英陶瓷毛坯回收料质量比为1:4～6；并加入质量为石英原料2～4倍的球磨介质，球磨介质为粒径30mm～80mm的氧化铝球，进行球磨至少24h，之后用30目筛过筛，当筛余量小于5％时，停止球磨，制得料浆；S2，浇注：将步骤S1得到的料浆浇入放置于浇注室的石膏模具内，干燥超过24h，形成毛坯，将不合格的毛坯作为回收料，重复步骤S1；S3，烘干：将毛坯从石膏模具内取出，并放入烘箱内，在40～120℃下烘干8～24h；S4，烧结：烘干后的毛坯放入烧结炉内，在20～1190℃下烧结100‑550min，制成石英陶瓷坩埚；在步骤S4中，所述烘干后的毛坯依次在20～300℃下烧结100min，在300～900℃下烧结100min，在900～1100℃下烧结200min，在1100℃下保温60min，在1100～1190℃下烧结30min，在1190℃下保温60min。