[发明专利]一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法

摘要

一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法，先将能量计探头与设有小孔的挡光片固定在二维运动平台上，激光器发出的激光经过挡光片后，小部分激光能量从小孔进入能量计探头；将二维运动平台沿Y轴移动，找到能量计示数最大位置，再以此为基础，保持Y轴不动，二维运动平台沿X轴移动，找到能量计示数最大位置，即为光斑的中心，取为坐标系的原点；再将二维运动平台沿着X轴正向和负向移动，测得相应位置处通过小孔的激光能量，再将其除以小孔面积，得到相应位置处的激光能量密度，将数据绘制到坐标系中，即得到激光能量密度分布；最后将激光能量密度分布对面积进行积分，得到总的激光脉冲能量，本发明测量结果准确。

主权项

一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)、沿激光(5)的垂直方向将能量计探头(1)和设有小孔(2)的挡光片(3)固定在二维运动平台(7)上，能量计探头(1)位于小孔(2)之后，小孔(2)中心与能量计探头(1)中心同轴；能量计探头(1)量程为2‑20mJ,小孔(2)直径D的范围为0.20‑0.30mm，激光器(6)发出的激光(5)经过挡光片(3)后，小部分激光能量从挡光片(3)上的小孔(2)进入能量计探头(1)；2)、将二维运动平台(7)沿Y轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为A点，再以A点为基础，保持Y轴不动，二维运动平台(7)沿X轴移动，通过能量计探头(1)找到能量计示数最大位置，标记为O点，O点即为光斑的中心，将O点取为坐标系的原点；3)、将二维运动平台(7)沿着X轴正向移动，每次移动步距s为0.1‑1mm，每移动一次，记下能量计示数E,当移动n次后，该处的能量计示数为En，即s*n处的能量密度为4*En/(πD^2)，当能量计示数变为零时，停止向X轴正向移动，将二维运动平台(7)移回到坐标原点O，并朝X轴负向移动，方式与沿X轴正向移动相同，得到‑s*n处的能量密度为4*E‑n/(πD^2)；4)、将(±s*n，4*E±n/(πD^2))绘制到坐标系中，即得到使用能量计测量得到的激光能量密度分布；5)、将激光能量密度分布对面积进行积分，得到激光(5)总的脉冲能量。