[发明专利]一种可实现连续生长石墨烯装置在审
| 申请号: | 201510233604.5 | 申请日: | 2015-05-07 |
| 公开(公告)号: | CN104860305A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
| 发明(设计)人: | 孔令杰;李晓丽;吴克松 | 申请(专利权)人: | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种可实现连续生长石墨烯装置,它涉及石墨烯技术领域。它包括高温炉、石英腔体、高真空机组、气路系统、液氮冷却箱和滑轨架;所述石英腔体垂直固定在滑轨架中端;所述高温炉和液氮冷却箱分别安装在滑轨架左右两端,两者均与滑轨架上导轨滑动连接,所述高温炉采用立式可对半打开结构。本发明它可实现快速升温和快速冷却的一体化及自动化,解决了石墨烯材料高温处理后的快速冷却;其立式可移动炉体结构使得真空石英腔体更短,结构紧凑,并能实现垂直更换生长腔体实现连续生长。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 实现 连续 生长 石墨 装置 | ||
【主权项】:
一种可实现连续生长石墨烯装置,它包括高温炉、石英腔体、高真空机组、气路系统、液氮冷却箱和滑轨架,其特征在于,所述石英腔体垂直固定在滑轨架中端;所述高温炉和液氮冷却箱分别安装在滑轨架左右两端,两者均与滑轨架上的导轨滑动连接,所述高温炉采用立式可对半打开结构。
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