[发明专利]一种多轴支撑气浮平台水平测量装置

摘要

一种多轴支撑气浮平台水平测量装置，本发明属于超精密仪器设备平台的技术领域。它的目的是为了解决现有多轴支撑气浮平台大范围水平测量系统的线阵CCD标定问题。它的圆形平台由三条可伸缩支撑腿支撑，每个可伸缩支撑腿下端连接一个气浮筒，每个气浮筒都通过一个气浮球轴承连接一个气足，三个气足设置在水平混凝土基座上；电机设置在圆形平台上表面的圆心上，电机的转动输出轴上连接有基准光源；伺服音圈电机用来驱动相应的可伸缩支撑腿的伸缩，直线光栅用于采集伺服音圈电机驱动可伸缩支撑腿所产生的位移量；多个线阵CCD沿水平混凝土基座的四周方向均放置。本发明能够在任何状况下，由调平系统调节使工作平台保持为水平状态。

主权项

一种多轴支撑气浮平台水平测量装置，其特征在于它包括圆形平台(1)、三条可伸缩支撑腿(2)、三个气浮筒(3)、三个气足(4)、三个气浮球轴承(5)、电机(6)、基准光源(7)、多个线阵CCD(8)、水平混凝土基座(9)；圆形平台(1)由三条可伸缩支撑腿(2)支撑，每个可伸缩支撑腿(2)下端连接一个气浮筒(3)，每个气浮筒(3)都通过一个气浮球轴承(5)连接一个气足(4)，三个气足(4)设置在水平混凝土基座(9)上；电机(6)设置在圆形平台(1)上表面的圆心上，电机(6)的转动输出轴上连接有基准光源(7)，所述每条可伸缩支撑腿(2)内部安装有一个伺服音圈电机(2‑1)、一个直线光栅(2‑2)和一个压力传感器(2‑3)，伺服音圈电机(2‑1)用来驱动相应的可伸缩支撑腿(2)的伸缩，伺服音圈电机(2‑1)由伺服音圈电机驱动器驱动，直线光栅(2‑2)用于采集伺服音圈电机(2‑1)驱动可伸缩支撑腿(2)所产生的位移量；多个线阵CCD(8)沿水平混凝土基座(9)的四周方向均放置。