[发明专利]使用干涉测量法测量振荡的方法

摘要

公开了一种使用干涉测量法测量振荡的方法，该方法包括获取图像的步骤、计算移动宽度的步骤，计算振幅的步骤以及计算周期的步骤。获取图像的步骤包括针对以预定周期振荡的物体，每隔特定时间间隔顺序地获取物体的图像。计算移动宽度的步骤包括计算多个所获取的图像内的莫尔图案的左右移动宽度。计算振幅的步骤包括基于莫尔图案的相邻图案之间的距离、发射到物体的光的波长以及莫尔图案的左右移动宽度来计算物体的振幅。计算周期包括基于返回时间计算物体的周期，其中在该返回时间期间，莫尔图案在其左右移动宽度内从初始位置开始并且返回到初始位置。

主权项

一种使用干涉测量法测量振荡的方法，其中，干涉仪向物体发射光以产生干涉条纹，并且所述干涉仪获取所述干涉条纹的图像以测量所述物体，所述方法包括：针对以预定周期振荡的所述物体，每隔特定时间间隔顺序地获取所述物体的图像；计算多个所获取的图像内的莫尔图案的左右移动宽度；基于所述莫尔图案中的相邻图案之间的距离、发射到所述物体的光的波长以及所述莫尔图案的所述左右移动宽度来计算所述物体的振幅；以及基于返回时间计算所述物体的周期，其中在所述返回时间期间，所述莫尔图案在所述莫尔图案的所述左右移动宽度内从初始位置开始并且返回到所述初始位置；其中，计算所述振幅包括通过以下表达式来计算所述物体的所述振幅：x:λ/2＝y:2A其中，x为所述莫尔图案中的所述相邻图案之间的距离，λ为发射到所述物体的所述光的波长，y为所述莫尔图案的所述左右移动宽度，以及A为所述物体的振幅。