[发明专利]一种聚合物真空电子束蒸发镀膜机在审
| 申请号： | 201510217375.8 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN106191779A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 谷宇;李强 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 徐江华 |
| 地址： | 100080 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种聚合物真空电子束蒸发镀膜机，包括设置在机柜内部的电控系统、电源系统、抽真空控制系统、电子枪系统和膜厚实时监测系统；所述抽真空控制系统包括真空室、真空泵、扩散泵、复合真空计和管道气路阀门；所述电子枪系统包括电子枪枪头、电子枪电源设备；所述膜厚实时监测系统包括石英晶体振动频率测量仪和上位机实时显示及记录软件。本发明的镀膜机沉积速率高、运行成本低，而且适合大面积蒸镀并且厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚合物 真空 电子束 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
一种聚合物真空电子束蒸发镀膜机，其特征在于，包括设置在机柜内部的电控系统、电源系统、抽真空控制系统、电子枪系统和膜厚实时监测系统；所述抽真空控制系统包括真空室、真空泵、扩散泵、复合真空计和管道气路阀门；所述电子枪系统包括电子枪枪头、电子枪电源设备；所述电子枪电源设备采用能够提供灯丝稳定电流值及电子稳定加速电压值特性的电源；所述膜厚实时监测系统包括石英晶体振动频率测量仪和上位机实时显示及记录软件；所述抽真空控制系统的气路管道通过抽真空接口连接着真空室，所述电子枪系统的电子枪枪头与膜厚实时监测系统的石英晶体振动频率测量仪均设置在真空室内。
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