[发明专利]一种溅射夹具及溅射操作平台有效
| 申请号： | 201510209480.7 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN104820301B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王子彦 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射夹具及溅射操作平台，所述溅射夹具用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其包括：操作基台、多个夹具本体，其包括：固定件，固定在所述操作基台上；转轴，用于连接所述固定件与活动件；所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部，所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。本发明的溅射夹具及溅射操作平台，通过在弧形状夹嘴部的上表面设置有多个凸起结构，以解决保养周期较长或者功率较大时，镀膜容易脱落的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 夹具 操作平台 固定件 弧形状 活动件 夹持件 夹嘴部 镀膜 凸起结构 上表面 转轴 保养周期 操作基台 固定基板 夹具本体 基板 转动 移动 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其特征在于，包括：操作基台；多个夹具本体，其包括：固定件，固定在所述操作基台上；转轴，用于连接所述固定件与活动件；通过所述转轴的转动使得所述活动件相对所述固定件运动，以带动所述夹持件移动；在使用过程中，通过转动所述转轴，使得所述活动件带动所述夹持件远离或者夹紧基板；所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；以及所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构，在所述凸起结构的上设置多个凹陷或者凸点。
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