[发明专利]一种多极片层叠式电流体动力微泵

摘要

本发明公开了一种多极片层叠式电流体动力微泵，包括自上而下依次设置的上盖板、上中下三层硅胶膜、上中下三层电极片等构成；上中下层电极片上的集电极和发射极构成梳齿状电极阵列；所述三层硅胶膜中间均加工出圆角矩形沟槽，在组装后与三层电极片通孔构成“S”型微泵腔室。使用时，先将液体流入管和液体流出管与外部循环系统连接，让液体充满整个腔室。然后连接500V直流电源，利用电流体动力效应驱动液体流动。本电流体动力微泵采用多极片层叠式结构，三层腔室利用通孔相连，构成“串联”液体通道。三层电极片同时产生电场，增强了对离子的拖拽作用，大幅度提高了电流体动力泵的动力效果。

主权项

一种多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，包括自上而下依次设置、并且边缘相互密封结合的：上盖板(2)、上层硅胶膜(3)、上层电极片(4)、中层硅胶膜(5)、中层电极片(6)、下层硅胶膜(7)和下层电极片(8)；所述上层电极片(4)、中层电极片(6)和下层电极片(8)上表面，均由向上凸起的集电极和发射极构成，集电极与发射极之间相互间隔并交错排布，构成梳齿状电极阵列；集电极和发射极的末端分别用导线引至梳齿状电极阵列之外；所述上层电极片(4)、下层电极片(8)和中层电极片(6)的一个端部分别开设有液体通孔(8‑1)；其中，每层电极片上的液体通孔与其相邻层电极片上的液体通孔开设位置相反；所述上层硅胶膜(3)、中层硅胶膜(5)和下层硅胶膜(7)的中部均开设有槽孔，每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的槽孔连通；在所述上盖板(2)对应于集电极和发射极末端的这端，开设有液体流出孔(2‑1)。