[发明专利]一种多极片层叠式电流体动力微泵

权利要求书

1.一种多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，包括自上而下依次设置、并且边缘相互密封结合的：上盖板(2)、上层硅胶膜(3)、上层电极片(4)、中层硅胶膜(5)、中层电极片(6)、下层硅胶膜(7)和下层电极片(8)；

所述上层电极片(4)、中层电极片(6)和下层电极片(8)上表面，均由向上凸起的集电极和发射极构成，集电极与发射极之间相互间隔并交错排布，构成梳齿状电极阵列；集电极和发射极的末端分别用导线引至梳齿状电极阵列之外；

所述上层电极片(4)、下层电极片(8)和中层电极片(6)的一个端部分别开设有液体通孔(8-1)；其中，每层电极片上的液体通孔与其相邻层电极片上的液体通孔开设位置相反；所述上层硅胶膜(3)、中层硅胶膜(5)和下层硅胶膜(7)的中部均开设有槽孔，每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的槽孔连通；

在所述上盖板(2)对应于集电极和发射极末端的这端，开设有液体流出孔(2-1)。

2.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，每层电极片上的液体通孔均与其相邻硅胶膜上的矩形槽孔连通，液体由下层电极片(8)上的液体通孔进入后再由上盖板(2)上的液体流出孔(2-1)流出，形成“S”型串联液体通道；每层电极片上的集电极末端连接直流电源负极，发射极末端连接直流电源正极。

3.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述上层电极片(4)与下层电极片(8)的集电极及发射极排布顺序与中层电极片(6)的排布顺序相反。

4.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述上层电极片(4)与下层电极片(8)的梳齿状电极，由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为发射极、集电极。

5.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述中层电极片(6)的梳齿状电极，由梳齿状电极始端至末端的排布顺序依次为集电极、发射极。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述梳齿状电极阵列中相邻的集电极与发射极构成一对电极对，该电极对的对数为24对。

7.根据权利要求6所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述槽孔为圆角矩形槽孔。

8.根据权利要求6所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述槽孔长度18mm，宽度3mm。

9.根据权利要求1所述的多极片层叠式电流体动力微泵，其特征在于，所述上盖板(2)的液体流出孔(2-1)连接液体流出管(1)；所述下层电极片(8)的液体通孔(8-1)连接液体流入管(9)。