[发明专利]基于氧化物的紫外光敏传感器

摘要

本发明公开了一种基于氧化物的紫外光敏传感器，包括基底、氧化物涂层、第一电极和第二电极；其中，氧化物涂层形成在基底上，用于探测紫外光；第一电极和第二电极相互不接触，作为基于氧化物的紫外光敏传感器的电信号输出端。该基于氧化物的紫外光敏传感器不仅简化了紫外光敏传感器的制作工艺，降低了成本，同时还显著提高了紫外光敏传感器的灵敏度。

主权项

一种基于氧化物的紫外光敏传感器，其特征在于，包括：基底、第一电极、氧化物涂层和第二电极；其中，所述第一电极形成在所述基底上；所述氧化物涂层形成在所述第一电极上，用于探测紫外光；所述第一电极包括使紫外光透过的第一照射区域，所述第二电极设置于所述氧化物涂层不与所述基底和所述第一电极接触的表面上；所述第一电极和所述第二电极相互不接触，作为所述基于氧化物的紫外光敏传感器的电信号输出端；其中，所述第一电极与所述氧化物涂层的右侧表面接触，与所述氧化物涂层的上侧表面全部接触；所述第二电极与所述氧化物涂层的左侧表面和下侧表面部分接触；所述氧化物涂层具有多孔型纳米晶体结构；所述多孔型纳米晶体结构的孔隙率为30％至40％。