[发明专利]一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺有效
| 申请号： | 201510075300.0 | 申请日： | 2015-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN104649219A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 何亮;麦立强;王建国;周鹏;宋培帅;王旭坤 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H01G11/86 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张惠玲 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO2球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO2纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化-还原，制取图案化碳-锡复合材料微结构。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的碳-锡复合材料微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的碳-锡复合材料微结构有着较好的机械性能，较高的化学稳定性和较好的电化学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 图案 复合材料 微结构 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型图案化碳‑锡复合材料微结构的微加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：通过水热法制取SnO2球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶‑SnO2纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化‑还原，制取图案化碳‑锡复合材料微结构。
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