[发明专利]一种OLED真空老化系统

摘要

本发明公开了一种OLED真空老化系统，包括与蒸镀机相连的输入腔，用于运送蒸镀后的基板；与输入腔相连的转运腔，转运腔内设有用于转运基板的机械手；位于转运腔一侧的老化腔，老化腔用于对基板进行老化；与转运腔相连的输出腔，用于将老化后的基板运送至封装机；输入腔、输出腔、转运腔和老化腔均处于真空环境中；本发明的真空老化系统，让基板在接触水汽与氧气前提前达到稳定状态，把水汽与氧气对器件品质的影响降到最低，利于良率的提升；同时结合了蒸镀工序与封装工序设备结构特点，利用蒸镀机和封装机的真空条件，不论是对老式生产线的改造，还是设计新的生产线，成本均较低；且自动化程度高，提高了效率。

主权项

一种OLED真空老化系统，其特征在于:包括与蒸镀机(9)相连的输入腔(1)，用于运送蒸镀后的基板；与输入腔(1)相连的转运腔(3)，转运腔(3)内设有用于转运基板的机械手(4)；位于转运腔(3)一侧的老化腔(5)，老化腔(5)用于对基板进行老化；与转运腔(3)相连的输出腔(7)，用于将老化后的基板运送至封装机(10)；所述输入腔(1)、输出腔(7)、转运腔(3)和老化腔(5)均处于真空环境中；还包括第一暂存腔(2)和第二暂存腔(6)，第一暂存腔(2)的一端与输入腔(1)相连，另一端与转运腔(3)相连；第二暂存腔(6)的一端与转运腔(3)相连，另一端与输出腔(7)相连；所述第一暂存腔(2)和第二暂存腔(6)的两端均设有可开合的闸门。