[发明专利]一种OLED真空老化系统

说明书

技术领域

本发明属于OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED真空老化系统。

背景技术

OLED技术被视为继LCD之后发展潜力最大的新型平板显示技术，由于其突出的性能优势得到了世界上许多国家和企业的重视，目前正处于技术快速发展、产业逐步启动的阶段；OLED具有主动发光、响应速度快、低压驱动、耗电量低、全固态结构、超轻薄、视角宽、可使用温度范围大等诸多优点，代表了目前显示技术的发展方向。

在OLED生产制造过程中，通过老化处理可以使得有机材料的发光特性趋于稳定从而保证器件在日后使用中的稳定性和可靠性。目前我们的老化处理是在OLED封装完成后进行，采用单台式腔体对OLED进行老化处理，其中需要人工运送、暂存和装载，这种老化处理方式会加大水汽与氧气进入OLED器件的几率，从而影响OLED器件的品质与制程良率。

发明内容

本发明的目的是解决上述问题，提供一种在基板蒸镀后封装前的自动化OLED真空老化系统。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种OLED真空老化系统，包括与蒸镀机相连的输入腔，用于运送蒸镀后的基板；与输入腔相连的转运腔，转运腔内设有用于转运基板的机械手；位于转运腔一侧的老化腔，老化腔用于对基板进行老化；与转运腔相连的输出腔，用于将老化后的基板运送至封装机；所述输入腔、输出腔、转运腔和老化腔均处于真空环境中。

优选地，还包括第一暂存腔和第二暂存腔，第一暂存腔的一端与输入腔相连，另一端与转运腔相连；第二暂存腔的一端与转运腔相连，另一端与输出腔相连。

优选地，所述第一暂存腔和第二暂存腔的两端均设有可开合的闸门。

优选地，还包括与老化腔相连的控制单元，用于把基板的老化信号输入到对应的老化腔内。

优选地，所述老化腔内设有用于固定基板的夹具，夹具上设有用于与基板电极接触的探针。

优选地，所述转运腔内设有导轨，机械手可活动的安装在导轨上。

本发明的有益效果是：

1、蒸镀后的基板通过输入腔到达转运腔，基板通过转运腔内的机械手放入各个老化腔，各老化腔老化信号通过控制单元输入，完成老化后的基板再通过机械手取出至输出腔并输送至封装机进行密封，让基板在接触水汽与氧气前提前达到稳定状态，把水汽与氧气对器件品质的影响降到最低，利于良率的提升。

2、该OLED真空老化系统结合了蒸镀工序与封装工序设备结构特点，利用蒸镀机和封装机的真空条件，不论是对老式生产线的改造，还是设计新的生产线，成本均较低。

3、整个老化过程除了需要人工操作控制单元外，基板的运送、暂存和装载均通过机械自动完成，自动化程度高，提高了效率。

附图说明

图1是本发明OLED真空老化系统的结构示意图。

附图标记说明：1、输入腔；2、第一暂存腔；3、转运腔；4、机械手；5、老化腔；6、第二暂存腔；7、输出腔；8、控制单元；9、蒸镀机；10、封装机；11、导轨。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明：

如图1所示，本发明的OLED真空老化系统，包括输入腔1、第一暂存腔2、转运腔3、老化腔5、第二暂存腔6、输出腔7和控制单元8；输入腔1与蒸镀机9相连，用于将蒸镀后的基板运送至第一暂存腔2，第一暂存腔2位于转运腔3的一侧并于转运腔3相连，转运腔3内设有用于转运基板的机械手4和导轨11，机械手4可活动的安装在导轨11上；转运腔3的另一侧设有若干呈墙体式并列布置的老化腔5，老化腔5用于对基板进行老化，老化腔5数量的设置由器件产量和生产节拍决定；控制单元8与老化腔5数量相对应，并通过数据信号线缆连接，用于把基板的老化信号输入到对应的老化腔5内，老化腔5内设有用于固定基板的夹具，夹具上设有用于与基板电极接触的探针，在单个老化腔5装满后夹具卡紧固定基板，并使得夹具上的探针接触到器件电极，通过老化腔5内的探针使老化信号作用于基板上；第二暂存腔6位于老化腔5设有第一暂存腔2的一侧，且在该实施例中，第二暂存腔6位于第一暂存腔2附近，第二暂存腔6用于存放老化后的基板；第二暂存腔6的另一端与输出腔7相连，输出腔7用于将老化后的基板运送至封装机10。