[发明专利]基于全反射镜的二维光谱测量装置及测量方法有效
| 申请号: | 201510067863.5 | 申请日: | 2015-02-10 |
| 公开(公告)号: | CN104614072A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
| 发明(设计)人: | 刘军;黄政 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01N21/25 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
| 地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 一种基于全反射镜的二维光谱测量装置,包括:分束挡板、方形柱体四面反射镜、第一延时反射镜、第二延时反射镜、第三延时反射镜、第四延时反射镜、空间滤波器、衰减片、第一凹面反射镜、样品、第二凹面反射镜、挡光板和光谱测量装置,本发明无透射元件,故没有透射带来的色散效应和窄光谱限制,同时消除了光束延时调节时所带来的光束移位问题,使得装置更加紧凑,稳定,可以在很宽的光谱范围内进行光谱探测。在同一装置上还可以同时探测样品的泵浦-探测光谱,用于二维光谱的相位校正。 | ||
| 搜索关键词: | 基于 全反射 二维 光谱 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
一种基于全反射镜的二维光谱测量装置,特征在于其构成包括:分束挡板(1)、方形柱体四面反射镜(2)、第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)、空间滤波器(7)、衰减片(8)、第一凹面反射镜(9)、样品(10)、第二凹面反射镜(11)、挡光板(12)和光谱测量装置(13),所述的方形柱体四面反射镜(2)是方形柱体四个外侧面均为反射镜的反射体,所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)均由两个反射镜面构成,两个镜面之间的角度相等,沿入射激光的方向依次是所述的分束挡板(1)和方形柱体四面反射镜(2),所述的入射激光光束的中心与所述的分束挡板(1)上四个小孔组成的矩形的中心重合,所述的方形柱体四面反射镜(2)的轴线竖直且一相对的边棱与过所述的分束挡板(1)的中心的对称轴共平面,在所述的方形柱体四面反射镜(2)的两侧的上下分别设置所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6),所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6)分别安装在各自的可控平移台上,使由所述的入射激光经所述的分束挡板(1)的四个小孔出射的四束平行光束:参考光束、a光束、b光束和c光束,分别入射并经所述的方形柱体四面反射镜(2)两邻面反射,再分别经所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6)反射射向到所述的方形柱体四面反射镜(2)的另两邻面,反射后仍为四束平行光束,在该四束平行光束方向依次是所述的空间滤波器(7)、第一凹面反射镜(9)、样品(10)、第二凹面反射镜(11)、挡光板(12)和光谱测量装置(13),所述的第一凹面反射镜(9)和第二凹面反射镜(11)相对且共焦平面,所述的样品(10)位于第一凹面反射镜(9)和第二凹面反射镜(11)的共焦平面处,所述的衰减片(8)处于所述的样品(10)之前的参考光路上,所述的四束激光入射到第一凹面反射镜(9)上聚焦到样品(10)上,经过样品(10)的四束激光又经过第二凹面反射镜(11)重新变为四束平行光束,该四束平行光束经过所述的挡光板(12)后,只让所述的参考光和信号光通过,最后入射到光谱仪(13)。
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