[发明专利]基于全反射镜的二维光谱测量装置及测量方法有效
| 申请号: | 201510067863.5 | 申请日: | 2015-02-10 |
| 公开(公告)号: | CN104614072A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
| 发明(设计)人: | 刘军;黄政 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01N21/25 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯;张宁展 |
| 地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 全反射 二维 光谱 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种基于全反射镜的二维光谱测量装置,特征在于其构成包括:分束挡板(1)、方形柱体四面反射镜(2)、第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)、空间滤波器(7)、衰减片(8)、第一凹面反射镜(9)、样品(10)、第二凹面反射镜(11)、挡光板(12)和光谱测量装置(13),所述的方形柱体四面反射镜(2)是方形柱体四个外侧面均为反射镜的反射体,所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)均由两个反射镜面构成,两个镜面之间的角度相等,沿入射激光的方向依次是所述的分束挡板(1)和方形柱体四面反射镜(2),所述的入射激光光束的中心与所述的分束挡板(1)上四个小孔组成的矩形的中心重合,所述的方形柱体四面反射镜(2)的轴线竖直且一相对的边棱与过所述的分束挡板(1)的中心的对称轴共平面,在所述的方形柱体四面反射镜(2)的两侧的上下分别设置所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6),所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6)分别安装在各自的可控平移台上,使由所述的入射激光经所述的分束挡板(1)的四个小孔出射的四束平行光束:参考光束、a光束、b光束和c光束,分别入射并经所述的方形柱体四面反射镜(2)两邻面反射,再分别经所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)和第四延时反射镜(6)反射射向到所述的方形柱体四面反射镜(2)的另两邻面,反射后仍为四束平行光束,在该四束平行光束方向依次是所述的空间滤波器(7)、第一凹面反射镜(9)、样品(10)、第二凹面反射镜(11)、挡光板(12)和光谱测量装置(13),所述的第一凹面反射镜(9)和第二凹面反射镜(11)相对且共焦平面,所述的样品(10)位于第一凹面反射镜(9)和第二凹面反射镜(11)的共焦平面处,所述的衰减片(8)处于所述的样品(10)之前的参考光路上,所述的四束激光入射到第一凹面反射镜(9)上聚焦到样品(10)上,经过样品(10)的四束激光又经过第二凹面反射镜(11)重新变为四束平行光束,该四束平行光束经过所述的挡光板(12)后,只让所述的参考光和信号光通过,最后入射到光谱仪(13)。
2.根据权利要求1所述的二维光谱测量装置,其特征在于所述的所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)均由两个反射镜面构成,两个镜面之间的角度为直角。
3.利用权利要求1所述的二维光谱测量装置进行二维光谱测量的方法,其特征在于该方法包括下列步骤:
1)校准光路:将所述的样品(10)替换为CCD,移动CCD的位置,使得CCD位于第一凹面反射镜(9)的焦平面处,此时四束激光应在CCD上重合,否则,通过调整所述的不重合光束所经过的所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6),直到四束激光重合为止;
确定通过所述的第一延时反射镜(3)、第二延时反射镜(4)、第三延时反射镜(5)、第四延时反射镜(6)的光束分别为参考光束、a光束、b光束、c光束,然后在分束挡板(1)上遮挡两个小孔,只让参考光束、a光束两束光束通过,调节第二延时反射镜(4)所对应的延时反射镜的平移台,直到CCD上产生干涉条纹,此时说明两光束已经在时间空间上重合;再遮挡掉该a光束,保留参考光束,放开刚刚遮挡的两光束的其中b光束,调节该b光束所对应的第三延时反射镜的平移台,直至CCD上同样出现干涉条纹;以同样的方法调节最后c束光的第四延时反射镜的平移台,直至CCD上同样出现干涉条纹,完毕后四束光在CCD的位置上应是时间空间都重合;然后撤下CCD,将样品(10)放置在第一凹面反射镜(9)的焦平面处,此时由于a光束、b光束、c光束的激发,样品(10)会产生信号光,信号光的方向和参考光的方向一致;在样品(10)前的参考光路中插入所述的衰减片(8),使所述的参考光的强度与所述的信号光相当;
2)经过样品(10)后的四束激光入射到第二凹面反射镜(11)上后重新变为四束平行光束,然后利用带有小孔的挡光板(12)只让参考光和信号光通过,此时参考光和信号光在空间上是重合的;
3)利用光谱仪探测参考光和信号光的光谱干涉条纹:调节参考光所对应的第一延时反射镜(3)平移台,确保参考光是最先入射到样品上,同时应保证干涉条纹的密度适当,调节光路的时候可以先遮挡参考光,用光谱仪(13)查看是否有信号光,如果没有,微调样品(10)的位置,确保样品的确位于焦平面上,所述的信号光理应是a光束、b光束和c光束共同产生的非线性信号,遮挡其中任一束光之后不应该产生信号光;
4)在观测到干涉条纹之后,利用光谱仪(13)对样品(10)进行数据的采集,方法如下:
第一步:移动第二延时反射镜(4)的平移台、第三延时反射镜(5)的平移台和第四延时反射镜(6)的平移台,使a光束,b光束均领先于c光束,领先的时间间隔记为T,T可取值为0-几百飞秒,此时a光束和b光束之间的延时为0;
第二步:移动第二延时反射镜(4)的平移台,令a光束领先b光束时间τ;然后移动第二延时反射镜(4)的平移台,令a光束以固定步长Δt向b光束靠近,直至重合,每移动一次第二延时反射镜(4)的平移台,所述的光谱仪(13)采集一次干涉条纹;此过程除a光束外,其他光束都不应发生改变;
第三步:移动第三延时反射镜(5)的平移台,令b光束领先a光束时间τ,并确保a光束和光束c之间的延时仍然是T;然后移动第三延时反射镜(5)的平移台,令b光束以固定步长Δt向a光束靠近,直至重合;每移动一次第三延时反射镜(5)的平移台,所述的光谱仪(13)采集一次干涉条纹;此过程除b光束外,其他光束都不应发生改变;
第四步:遮挡b光束和参考光束,此时a光束仍领先c光束时间T;令c光束为探测光,a光束为泵浦光,所述的光谱仪(13)进行泵浦探测,得到样品(10)的泵浦探测吸收光谱,用于二维光谱的相位校正。
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