[发明专利]一种太阳能电池扩散吸杂的方法无效
| 申请号： | 201510065245.7 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN104659151A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡永梅;蒋方丹;金浩;陈康平 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314416 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池扩散吸杂的方法，具体步骤如下，（1）第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤：将原始硅片插入双面扩散石英舟之中，然后送进扩散炉进行浓磷重扩散吸杂，通入的小氮流量为2000～6000ml/min，通磷时间为10～30分钟；（2）制绒步骤：将双面浓磷重扩散后的硅片送入制绒机制作绒面；（3）第二次双面正常扩散步骤：将制绒后的硅片插入双面扩散石英舟之中送进扩散炉，通入的小氮流量为200～2000ml/min,通磷时间为10～30分钟。本发明吸杂效果好，提高了电池效率，且与传统太阳能电池生产线兼容，适合于大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池扩散吸杂的方法，其特征在于：包括第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤、制绒步骤和第二次双面正常扩散步骤，具体步骤如下，（1）第一次双面浓磷重扩散吸杂步骤：将原始硅片插入双面扩散石英舟之中，然后送进扩散炉进行浓磷重扩散吸杂，通入的小氮流量为2000～6000ml/min，通磷时间为10～30分钟；（2）制绒步骤：将双面浓磷重扩散后的硅片送入制绒机制作绒面；（3）第二次双面正常扩散步骤：将制绒后的硅片插入双面扩散石英舟之中送进扩散炉，通入的小氮流量为200～2000ml/min，通磷时间为10～30分钟。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
