[发明专利]膜片上FBAR结构的微加速度计有效
| 申请号： | 201510055104.7 | 申请日： | 2015-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN104833822B | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 高杨;何婉婧;李君儒;贺学峰;蔡洵;赵俊武;尹汐漾;黄振华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙)51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了膜片上FBAR结构的微加速度计，包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与空腔；Si质量块设置于复合薄膜底部的中心区域，Si基座呈环状设置于复合薄膜底部的边沿区域，Si质量块、Si基座与复合薄膜之间为空腔，即Si基座包围Si质量块，Si质量块、Si基座被空腔隔开，Si质量块和空腔上面对应的复合薄膜为弹性膜片区域；检测元件包括FBAR、引线、焊盘，FBAR通过引线与焊盘连接；本发明具有可制造性好、温度稳定性高、模态间的交叉耦合小、机械强度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 fbar 结构 加速度计 | ||
【主权项】：
膜片上FBAR结构的微加速度计，其特征在于：包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与空腔；Si质量块设置于复合薄膜底部的中心区域，Si基座呈环状设置于复合薄膜底部的边沿区域，Si质量块、Si基座与复合薄膜之间形成空腔，即Si基座包围Si质量块，Si质量块、Si基座被空腔隔开，Si质量块和空腔上面对应的复合薄膜为弹性膜片区域；检测元件包括FBAR、引线、焊盘，FBAR通过引线与焊盘连接。
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