[发明专利]四边扁平无接脚封装方法在审
申请号: | 201510049628.5 | 申请日: | 2010-12-29 |
公开(公告)号: | CN104658919A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 卓恩民 | 申请(专利权)人: | 群成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐洁晶 |
地址: | 中国台湾新竹县湖*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种四边扁平无接脚封装方法,系包括下列步骤:提供一封装载板具至少一表面设置一可剥离金属层;形成一第一图案化金属层于可剥离金属层上;形成一第一次图案化金属层,堆栈设置于第一图案化金属层上;形成一绝缘层于可剥离金属层上,并将每一堆栈设置的第一图案化金属层与第一次图案化金属层分隔成彼此电性隔绝的复数个对外接垫;形成一第二图案化金属层于绝缘层上,且与对外接垫电性连接;进行一芯片封装步骤;以及移除封装载板并暴露出对外接垫。可设置一金属接合层于第二金属层与绝缘层之间以加强键结。本发明之方法可提高制程良率。 | ||
搜索关键词: | 四边 扁平 无接脚 封装 方法 | ||
【主权项】:
一种四边扁平无接脚封装方法,其特征在于,包含下列步骤:提供一封装载板,其中该封装载板至少一表面设置一可剥离金属层;形成一第一图案化金属层于该可剥离金属层上;形成一第一次图案化金属层,堆叠设置于该第一图案化金属层上;形成一绝缘层于该可剥离金属层上与覆盖该第一图案化金属层,并暴露出该第一次图案化金属层,且该绝缘层将每一堆叠设置的该第一图案化金属层与该第一次图案化金属层分隔成彼此电性隔绝的多个对外接垫;形成一第二图案化金属层于该绝缘层与该些对外接垫上,其中该第二图案化金属层包含至少一芯片承座、多个导电接垫与多线路,且这些对外接垫与该第二金属层电性连接;进行一芯片封装步骤;以及移除该封装载板并暴露出这些对外接垫。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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